我国臭氧技术起步较晚，上世纪七十年代中期才开始进行研究及开发应用，并在八十年代能生产出单机产量为1kg/h的工频臭氧发生器。虽然当时的条件比较艰苦，工业基础也相对落后，但这是我国在研制大型臭氧设备方面发展比较快的一个历史时期。
在其后的十多年中，随着我国在瓶装水及桶装水生产中强制使用臭氧消毒政策的出台，以及一些家用臭氧空气消毒产品的推广应用，对整个臭氧行业的发展起到了巨大的推动作用，一些生产臭氧发生器及相关产品的企业如雨后春笋般的出现，中小型臭氧发生器及空气消毒产品在技术和性能上也日趋完善。尽管这段时期臭氧及应用被越来越多的人所认识和了解，应用领域不断拓展，目前，国产大型臭氧发生器在技术上也取得长足的进步，目前以中高品放电为主，尤其在单机产量上获得突破，直至目前，已经成功研制130kg/h的高频臭氧发生器；达到了*水平。
    国内目前运行的1kg/h以上大型臭氧设备，已经有很多企业，基本不再依赖于进口，如昆明、上海、常州、桐乡等地自来水厂，采用的臭氧设备是国内厂家的设备，在性能和节能方面具有非常突出的优势